磨边机（MBJ）

◎ 概要

该设备是手动上下料，自动研磨（手动研磨），适用于半导体晶圆或砷化镓等材料边缘研磨工艺。

◎ 优势

·研磨平台由伺服驱动，转速可调。

·研磨轮由伺服驱动，转速可调，且研磨进给力由气缸推动，压力可调。

·平台真空：吸附力可调，可有真空负压表数显显示。

·主要元器件均采用进口知名品牌。

◎ 规格