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12寸扩膜机

半导体设备

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<table cellspacing="0" cellpadding="0" width="621" style="width: 358px;"><tbody><tr style=";height:28px" class="firstRow"><td width="308" style="border: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">型号</td><td width="314" style="border-top: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-left: none; padding: 0px 7px;" height="28">SE-200</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">Wafer尺寸</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">12寸（客户指定）</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">Frame尺寸</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">12英寸(DISCO标准/K&S标准)或客户指定 </td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">胶膜(须具备较好的延展性)</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">蓝膜或UV膜；厚度0.05mm~0.15mm</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" rowspan="2" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">扩晶环</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">内环：330-338</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">外环：338-347</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">人机界面</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">松下触摸屏</td></tr><tr style=";height:33px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="33">控制系统</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="33">PLC</td></tr><tr style=";height:29px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="29">扩膜高度</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="29">行程18~60mm，参数化，精度±0.05mm</td></tr><tr style=";height:45px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="45">扩膜方式</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="45">松下伺服电机驱动精密滚珠丝杆顶出，速度，位置参数化设定</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">扩膜速度</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">1~10mm/s 可任意设定</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">套子母环方式</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">采用日本小金井汽缸自动套母环</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">工作台</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">ORMON温控器，室温~80℃可调，误差+/-3℃</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" valign="top" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">工作效率</td><td width="314" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">60片/小时</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">Frame定位</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">定位销</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">切割</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">手动切割/自动切割    可选</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">供电</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">220 V；50/60 Hz；5A</td></tr><tr style=";height:28px"><td width="308" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;" height="28">供气</td><td width="314" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;" height="28">0.5MPa   干燥压缩空气</td></tr><tr><td width="308" valign="top" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;">外形尺寸</td><td width="314" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;">500mm (宽) × 680mm (深) ×550mm（高)</td></tr><tr><td width="308" valign="top" style="border-right: 1px solid windowtext; border-bottom: 1px solid windowtext; border-left: 1px solid windowtext; border-image: initial; border-top: none; padding: 0px 7px;">净重</td><td width="314" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid windowtext; border-right: 1px solid windowtext; padding: 0px 7px;">65Kg </td></tr></tbody></table>
切割液注入机

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DI系列切割液注入机专为电子半导体行业设计，是用来满足晶圆清洗药水的自动补加设备，通过注液泵将切割液按照比例输送至切割机，根据客户不同需求，最多可同时为4台切割机同时提供切割液。 <table cellpadding="0" cellspacing="0" width="408" style="width: 358px;"><colgroup><col width="125" style=";width:125px"/><col width="143" style=";width:143px"/><col width="140" style=";width:140px"/></colgroup><tbody><tr height="37" style=";height:37px" class="firstRow"><td height="37" width="125" style="">型号</td><td width="143" style="">DI-10</td><td width="140" style="">DI-20</td></tr><tr height="37" style=";height:37px"><td height="37" width="125" style="">输入电压</td><td width="143" style="">200~240V   AC ±10%</td><td width="140" style="">200~240V   AC ±10%</td></tr><tr height="37" style=";height:37px"><td height="37" width="125" style="">频率</td><td width="143" style="">50/60Hz</td><td width="140" style="">50/60Hz</td></tr><tr height="37" style=";height:37px"><td height="37" width="125" style="">注液泵速率</td><td width="143" style="">2   L/hour最大</td><td width="140" style="">2   L/hour最大</td></tr><tr height="37" style=";height:37px"><td height="37" width="125" style="">液位限制</td><td width="143" style="">磁浮开关</td><td width="140" style="">磁浮开关</td></tr><tr height="37" style=";height:37px"><td height="37" width="125" style="">水压（去离子水）</td><td width="143" style="">5kg/cm²   最大</td><td width="140" style="">5kg/cm²   最大</td></tr><tr height="37" style=";height:37px"><td height="37" width="125" style="">储液室容量</td><td width="143" style="">1.5   加仑</td><td width="140" style="">20   加仑</td></tr><tr height="37" style=";height:37px"><td height="37" width="125" style="">尺寸(W*D*H)</td><td width="143" style="">250*400*300   (mm)</td><td width="140" style="">460*610*950   (mm)</td></tr></tbody></table>
CO2发泡机

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二氧化碳发泡机又称超纯水抗静电装置、超纯水电阻率调节装置，是半导体切割工序的必备设备；在半导体行业生产中，使用超纯水有助于提高产品良品率，但是超纯水具有很高的电阻率，因此也容易在产品表面产生静电，对产品造成伤害。二氧化碳发泡机就是为了解决这一问题而研制，向高电阻率的超纯水中添加二氧化碳来降低超纯水的电阻率，防止在划片和清洗制程中产生静电而损伤产品。  特点：Ø  机器结构紧凑、占地面积小；Ø  安装方便、操作简单、性能稳定、故障率低；Ø  有效防止静电破坏产品，提高良品率，降低企业生产成本；Ø  超纯水电阻率可方便精准地设定在0.2-2MΩ•CM范围内；<table cellspacing="0" cellpadding="0" width="708" style="width: 358px;"><tbody><tr class="firstRow"><td width="141" valign="top" style="border-top: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-right: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">型    号</td><td width="200" valign="top" style="border-top: 1px solid white; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">CWM-20</td><td width="175" valign="top" style="border-top: 1px solid white; border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-image: initial; border-left: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">Cw-40</td></tr><tr><td width="141" valign="top" style="border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-top: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">纯水压力</td><td width="200" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(184, 204, 228); padding: 0px 7px;">0.3-0.5 MPa</td><td width="175" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(184, 204, 228); padding: 0px 7px;">0.3-0.5 MPa</td></tr><tr style=";height:27px"><td width="141" valign="top" style="border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-top: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;" height="27">纯水温度</td><td width="200" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(219, 229, 241); padding: 0px 7px;" height="27">5-35℃</td><td width="175" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(219, 229, 241); padding: 0px 7px;" height="27">5-35℃</td></tr><tr><td width="141" valign="top" style="border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-top: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">阻抗设定范围</td><td width="200" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(184, 204, 228); padding: 0px 7px;">0.2-2   MΩ•CM</td><td width="175" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(184, 204, 228); padding: 0px 7px;">0.2-2   MΩ•CM</td></tr><tr><td width="141" valign="top" style="border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-top: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">供水能力</td><td width="200" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(219, 229, 241); padding: 0px 7px;">300-2000L/H</td><td width="175" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(219, 229, 241); padding: 0px 7px;">300-3500L/H</td></tr><tr><td width="141" valign="top" style="border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-top: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">电    源</td><td width="200" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(184, 204, 228); padding: 0px 7px;">单相AC220V</td><td width="175" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(184, 204, 228); padding: 0px 7px;">单相AC220V</td></tr><tr><td width="141" valign="top" style="border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-top: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">功    率</td><td width="200" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(219, 229, 241); padding: 0px 7px;">≤90W</td><td width="175" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(219, 229, 241); padding: 0px 7px;">≤90W</td></tr><tr><td width="141" valign="top" style="border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-top: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">尺寸（W*D*H）</td><td width="200" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(184, 204, 228); padding: 0px 7px;">526*410*1156 mm</td><td width="175" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(184, 204, 228); padding: 0px 7px;">526*410*1156 mm</td></tr><tr><td width="141" valign="top" style="border-right: 1px solid white; border-bottom: 1px solid white; border-left: 1px solid white; border-image: initial; border-top: none; background: rgb(79, 129, 189); padding: 0px 7px;">重    量</td><td width="200" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(219, 229, 241); padding: 0px 7px;">≤45 Kg</td><td width="175" valign="top" style="border-top: none; border-left: none; border-bottom: 1px solid white; border-right: 1px solid white; background: rgb(219, 229, 241); padding: 0px 7px;">≤50 Kg</td></tr></tbody></table>
晶圆清洗机

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一.技术规格：1.清洗功能：二流体清洗方式2.清洗顺序：1.二流体清洗；2.甩干带氮气(可根据工艺用压缩空气代替)吹；3.适应晶圆尺寸：8"及以下4.通过更换台盘能适应标准8"框架（Frame）5.控制系统采用PLC、触摸屏6.主轴转速设定范围：100r/min～ 3000r/min7.时间设定范围：1s～999s秒8.设备真空度 ＞-80KPA9.额定电压：AC 220V10.频率：50HZ11.工作满载电流:15A12.动力电源线：2.5²以上13.DI水压力：≥ 0.3Mpa14.压缩空气压力：0.5~0.7Mpa15.氮气的供给压力：≥ 0.5Mpa16.整机尺寸：400(W)x650(D)x 1140(H)mm17.特殊配置：离子风棒（基恩士）
MSM-20 QFN贴膜机

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1. 主要规格 1.1 框架尺寸: 根据客户（产品）要求指定 1.2 膜种类: 蓝膜或者UV膜宽度: 根据产品确定长度: 100米厚度: 0.2~1.2毫米 1.3 产品规格：根据客户要求,产品数量由客户指定 1.4 贴膜原理: 防静电滚轮贴膜,汽缸带动滚轮下压,滚轮压力可调 1.5 工作台盘: 防静电的工程塑料接触式台盘 1.6 装卸方式: 产品手动放置与取出 1.7切割系统: 直线刀切割仅在框架以外5毫米处，确保省膜铁环上的膜，由操作者手持美工刀切割 1.8产品定位: TABLE上有产品的定位销，真空吸盘固定产品，每路单独控制 1.9电力供应: 单相交流电220V,5A 1.10压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量每分钟1立方英尺 1.11体积: 500毫米(宽)*900毫米(深)*250毫米(高) 1.12净重: 70公斤 2. 机器性能: 2.1 晶圆收益: >=99.9% 2.2 贴膜质量: 没有气泡 2.3 每小时产能: >=60 片 3. 安装,培训及验收: 3.1 卖方负责将机器安装,调机,试运行及性能测试 3.2 卖方给于买方内部操作员工,工程师, 维护人员完善的技术培训直到他们可以稳定独立地操作机器 4. 保修条款: 4.1 卖方保证设备完全满足买方正常生产要求及购买规格 4.2 保修期为买方正式验收起12个月内
FTM-2000 全自动12寸减薄前贴膜机

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晶圆尺寸直径，12英寸(可选配兼8英寸) 贴膜Wafer厚度 350-800um 贴膜使用膜蓝膜或UV膜，膜宽度>330mm 每贴一片消耗膜长度最小345mm（8英寸最小295mm）工作效率 80片/小时控制系统 PLC 人机交互界面触摸屏静电去除装置离子风棒上下料晶圆机械手自动上下料 Wafer定位智能定位 Wafer放置台 Telflon处理真空平台贴膜原理工作台移动，自动拉膜，自动贴膜环形切割自动动仿形切割，室温至150℃加热刀片，圆边一次切割完成，无飞边切断手动切断，机器上带切割刀供电 220 V；50/60 Hz；10A 供气 0.5MPa 干燥压缩空气外形尺寸 1.4m (L) × 1.2m(W) × 1.8m(H) 净重 300kg
SPM-100 预切割(Pre-cut)/DAF贴膜机

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MTM-10 手动晶圆减薄贴膜机

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沪ICP备11031122号-1

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